描述:
LAM Research 光纤光谱仪是用于半导体晶圆加工设备的高精度光学监测设备。主要与专业光学模块配合,采用光纤传输设计,捕获工艺腔体内的等离子体发射、反射和透射光谱。广泛用于蚀刻终点检测、薄膜计量和实时等离子体状态监控,这些设备可确保工艺性能稳定,提高生产良率,减少蚀刻、CVD、PVD 等真空制造工艺中的缺陷产品。作为原厂 OEM 兼容组件,具有出色的兼容性和长期可靠性,适用于 LAM 全系列工艺设备。
主要规格:
- 配备高灵敏度 CCD/PMT 探测器,提供卓越的光谱分辨率和低噪声性能。覆盖紫外-可见波长范围,满足多样化的半导体工艺监测需求。
- 标准 SMA 光纤接口,支持长距离信号传输。真空兼容探针在高真空、高温和等离子体环境中稳定工作。
- 实时光谱分析可实现精确的蚀刻终点判断、薄膜厚度和光学特性测量,有效避免过蚀或欠蚀现象。
- 内置以太网和 RS-232 通信接口,完全兼容 LAM 设备协议,实现数据无缝交互和系统联动。
- 结构紧凑坚固,具有抗振动和抗干扰能力。支持 24/7 持续运行,现场更换方便。
典型应用:
- 等离子体蚀刻系统、CVD、PVD 和 ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆蚀刻工艺的终点检测
- 原位薄膜厚度与反射率测量
- 真空工艺腔体的实时等离子体状态分析
- LAM Research 2300、9400、ExAL 等主流工艺平台
常见问题:
问1:产品情况和保修如何?
答:全新正品。包含 1 年保修。
问2:付款条件是什么?
答:支持电汇(T/T)、Paypal。
问3:产品交货时间多久?库存充足吗?
答:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需厂家订货——请联系客户服务了解具体周期。
问4:运输与追踪
答:可通过 DHL/FedEx/UPS 发货。发货后提供追踪号码及链接。全程由我们的团队监控。
问5:包装与安全
答:原厂品牌包装,强化保护(泡沫、密封纸箱、精密设备木箱)。防潮防震。