描述:
LAM Research光纤光谱仪是集成于半导体晶圆加工设备中的高精度光学监测装置。主要与专业光学模块配套使用,采用光纤传输设计,用于捕获工艺腔室内等离子体发射、反射和透射光谱。广泛用于刻蚀终点检测、薄膜计量以及实时等离子体状态监测,这些设备可确保稳定的工艺性能,提高生产良率并减少在刻蚀、CVD、PVD及其他真空制造工艺中的不良品。作为原装OEM兼容部件,它们与LAM全系列工艺设备具有出色的兼容性和长期可靠性。
关键规格:
- 配备高灵敏度CCD/PMT探测器,提供出色的光谱分辨率和低噪声性能。覆盖紫外-可见光波长范围,满足多样化的半导体工艺监测需求。
- 标准SMA光纤接口支持远距离信号传输。真空兼容探头可在高真空、高温及等离子体环境中稳定工作。
- 实时光谱分析可实现精确的刻蚀终点判断、薄膜厚度及光学特性测量,有效避免过刻蚀和欠刻蚀。
- 内置以太网和RS-232通信端口,完全兼容LAM设备协议,实现无缝数据交互和系统联动。
- 结构紧凑坚固,具备抗振动和抗干扰能力。支持24/7连续运行,并便于现场快速更换。
典型应用:
- 等离子刻蚀系统、CVD、PVD及ALD薄膜沉积设备
- 晶圆刻蚀过程终点检测
- 原位薄膜厚度及反射率测量
- 真空工艺腔室的实时等离子体状态分析
- LAM Research 2300、9400、ExAL及其他主流工艺平台
常见问题:
Q1:产品情况和保修如何?
A:全新正品,含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服获取具体周期。
Q4:运输与物流追踪
A:DHL/FedEx/UPS可选。发货后提供运单号+链接。全流程由我方团队跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备采用木箱)。防潮、防冲击。