描述:
Lam Research 温控板是用于半导体刻蚀、沉积和晶圆加工系统的核心热管理组件。它提供高精度多通道温度调节,以在工艺腔室、静电吸盘(ESC)和晶圆台之间保持严格的热均匀性。该产品专为在高真空、高温和等离子体环境下实现 24/7 运行而设计,可确保晶圆温度一致性、稳定工艺配方并最大化生产良率。原厂 Lam OEM 板卡保证即插即用兼容性、精确校准以及针对先进制程节点(2nm/3nm)半导体晶圆厂的长期可靠性。
关键规格:
- 原装 Lam Research PCB 组件,与 Kiyo 刻蚀机、ExAL 平台以及 CVD/PVD 系统完全兼容。已在工厂完成校准与测试,可实现无缝集成。
- 支持 16–24 通道(Pt100 RTD/热电偶输入);通过自整定 PID 算法,在 25–150°C 范围内实现 ±0.1°C 稳定性。
- 用于加热/冷却(兼容 TEC)的闭环控制;500Hz 采样的实时传感器反馈;具备环境漂移与传感器延迟补偿。
- 真空等级(≤1×10⁻⁶ Torr),具备 EMI 屏蔽与抗振动能力;可在 0–55°C 环境下可靠运行,并具备等离子体与射频干扰抗性。
- 模块化热插拔设计,支持快速更换;板载诊断功能用于温度、传感器健康状态及故障记录;减少非计划停机时间。
典型应用:
- Lam Research 等离子刻蚀系统(Kiyo、ExAL、9000 系列)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 200mm / 300mm 晶圆工艺腔室与 ESC
- 先进逻辑/存储芯片晶圆厂(2nm/3nm 节点)
- 半导体晶圆厂维护、备件与升级
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,包含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?是否有充足库存?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服了解具体周期。
Q4:运输与追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供快递单号+链接。由我们团队全程跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮、防冲击。