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全新 Lam Research 778-900046-402 温度控制板

全新 Lam Research 778-900046-402 温度控制板

全新 Lam Research 778-900046-402 温度控制板

高精度、稳定性能

适用于工业自动化

现货供应 & 全球快速配送

  • 货号:

    778-900046-402

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    1

  • 支付:

    100% T/T

  • 产品产地:

    USA

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

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    2-3 days
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描述：

Lam Research 温度控制板是半导体刻蚀、沉积和晶圆加工系统的核心热管理组件。它为多通道高精度温度调节提供支持，以确保在工艺腔室、静电吸盘（ESC）和晶圆台上实现严格的热均匀性。该产品专为高真空、高温及等离子体环境下的7×24小时运行而设计，可确保晶圆温度稳定，优化工艺配方，并最大化生产良率。原厂 Lam OEM 板卡保证即插即用兼容性、精准校准以及在先进制程节点（2nm/3nm）半导体工厂中的长期可靠性。
 
 
 
关键规格：
  1. 原装 Lam Research PCB 组件，完全兼容 Kiyo 刻蚀机、ExAL 平台以及 CVD/PVD 系统。出厂已校准并测试，可实现无缝集成。
  2. 支持16–24通道（Pt100 RTD/热电偶输入）；通过自整定 PID 算法在25–150°C范围内实现±0.1°C稳定性。
  3. 加热/冷却闭环控制（兼容 TEC）；500Hz 实时传感器反馈采样；具备环境漂移与传感器延迟补偿能力。
  4. 真空级设计（≤1×10⁻⁶ Torr），具备 EMI 屏蔽与抗振动能力；在0–55°C环境下稳定运行，并具备等离子体及射频干扰免疫能力。
  5. 模块化热插拔设计，支持快速更换；板载诊断功能用于温度、传感器健康状态及故障日志记录；可减少非计划停机时间。
 

 

典型应用：

  1. Lam Research 等离子刻蚀系统（Kiyo、ExAL、9000 系列）
  2. CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
  3. 200mm / 300mm 晶圆工艺腔室及静电吸盘（ESC）
  4. 先进逻辑/存储芯片工厂（2nm/3nm 制程节点）
  5. 半导体晶圆厂维护、备件与升级

 

 

常见问题：

Q1：产品状况和保修如何？
A：全新正品，包含1年保修。

Q2：付款条款是什么？
A：支持T/T、PayPal。

Q3：产品的交货时间是多少？是否有充足库存？
A：标准型号有库存，付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购，请联系客服获取具体时间。

Q4：运输与追踪
A：提供DHL/FedEx/UPS配送。发货后提供追踪号码及链接，全流程由团队监控。

Q5：包装与安全

 

A：采用原厂包装并加强保护（泡沫、防潮密封箱，精密设备使用木箱加固）。具备防潮与抗冲击能力。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components Temperature Control Board
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