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全新 Lam Research 778-900046-343 温度控制板

全新 Lam Research 778-900046-343 温度控制板

全新 Lam Research 778-900046-343 温度控制板

高精度，稳定性能

适用于工业自动化

现货供应，全球快速发货

  • 货号:

    778-900046-343

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    1

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    100% T/T

  • 产品产地:

    USA

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

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    2-3 days
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描述：

Lam Research 温度控制板是用于半导体刻蚀、沉积和晶圆加工系统的核心热管理组件。它提供高精度多通道温度调节，在整个工艺腔体、电静态卡盘（ESC）和晶圆台之间维持严格的热均匀性。该产品专为高真空、高温和等离子环境下的7×24小时运行而设计，可确保晶圆温度一致性，稳定工艺配方，并最大化生产良率。原装 Lam OEM 电路板保证即插即用兼容性、精确校准以及面向先进制程节点（2nm/3nm）半导体晶圆厂的长期可靠性。
 
 
 
关键规格：
  1. 原装 Lam Research PCB 组件，与 Kiyo 刻蚀机、ExAL 平台以及 CVD/PVD 系统完全兼容。出厂校准并经过测试，可实现无缝集成。
  2. 支持16–24通道（Pt100 RTD/热电偶输入）；通过自整定 PID 算法在25–150°C范围内实现±0.1°C的稳定性。
  3. 用于加热/冷却（兼容 TEC）的闭环控制；实时传感器反馈，500Hz采样；补偿环境漂移和传感器滞后。
  4. 真空等级（≤1×10⁻⁶ Torr），EMI 屏蔽，抗振动；在0–55°C环境下可靠运行，并具备等离子与射频干扰免疫能力。
  5. 模块化热插拔设计，便于快速更换；板载温度、传感器健康状态和故障日志诊断；减少非计划停机时间。
 

 

典型应用：

  1. Lam Research 等离子刻蚀系统（Kiyo、ExAL、9000 系列）
  2. CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
  3. 200mm / 300mm 晶圆工艺腔体及 ESC
  4. 先进逻辑/存储晶圆厂（2nm/3nm 制程节点）
  5. 半导体晶圆厂维护、备件与升级

 

 

常见问题：

Q1:产品状况和保修情况如何？
A:全新原装正品。含1年质保。

Q2:付款方式是什么？
A:支持电汇（T/T）、Paypal。

Q3:产品的交货时间是多久？库存是否充足？
A:常规型号有库存，付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务了解具体周期。

Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码及链接。全流程由我方团队监控。

Q5:包装与安全

 

A:原厂品牌包装并加强防护（泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱）。防潮、防冲击。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components Temperature Control Board
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