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全新 Lam Research 778-900046R343 温度控制板

全新 Lam Research 778-900046R343 温度控制板

全新 Lam Research 778-900046R343 温度控制板

高精度，稳定性能

适用于工业自动化

现货供应 & 全球快速配送

  • 货号:

    778-900046R343

  • 订单(最小起订量):

    1

  • 支付:

    100% T/T

  • 产品产地:

    USA

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

  • 交货时间：

    2-3 days
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  • 产品详情

描述：

Lam Research 温度控制板是用于半导体刻蚀、沉积和晶圆加工系统的核心热管理组件。它提供高精度多通道温度调节，以在工艺腔室、静电吸盘（ESCs）和晶圆台之间保持严格的热均匀性。专为高真空、高温和等离子环境下的7×24小时运行设计，确保晶圆温度一致性，稳定工艺配方，并最大化生产良率。原厂 Lam OEM 电路板确保即插即用兼容性、精确校准以及长期可靠性，适用于先进制程（2nm/3nm）半导体晶圆厂。
 
 
 
关键规格：
  1. 原装 Lam Research PCB 组件，与 Kiyo 刻蚀机、ExAL 平台以及 CVD/PVD 系统完全兼容。经过工厂校准和测试，可实现无缝集成。
  2. 支持 16–24 通道（Pt100 RTD/热电偶输入）；通过自整定 PID 算法，在 25–150°C 范围内实现 ±0.1°C 稳定性。
  3. 加热/制冷闭环控制（兼容 TEC）；500Hz 采样的实时传感器反馈；具备环境漂移和传感器延迟补偿。
  4. 真空等级（≤1×10⁻⁶ Torr），具备 EMI 屏蔽和抗振动设计；在 0–55°C 条件下可靠运行，并具备抗等离子和射频干扰能力。
  5. 模块化热插拔设计，便于快速更换；板载诊断功能用于温度、传感器健康和故障记录；减少非计划停机时间。
 

 

典型应用：

  1. Lam Research 等离子刻蚀系统（Kiyo、ExAL、9000 系列）
  2. CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
  3. 200mm / 300mm 晶圆工艺腔室及 ESCs
  4. 先进逻辑/存储晶圆厂（2nm/3nm 制程节点）
  5. 半导体晶圆厂维护、备件与升级

 

 

常见问题：

Q1：产品状况和保修如何？
A：全新原装正品，含 1 年保修。

Q2：付款方式是什么？
A：支持 T/T、Paypal。

Q3：产品的交货时间是多少？是否有充足库存？
A：标准型号有库存，付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务获取具体时间表。

Q4：运输与物流追踪
A：支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号及链接。由我们的团队进行全流程监控。

Q5：包装与安全

 

A：原厂品牌包装，采用加强防护（泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱）。防潮、防冲击。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components Temperature Control Board
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