描述:
MKS Baratron®(电容式压力计)是行业公认的气体无关、真空系统中真实压力测量的黄金标准。不同于会随气体类型变化的 Pirani 或热导式真空计,Baratron 传感器通过高精度膜片以单位面积受力的方式测量压力,无论工艺气体(N₂、Ar、O₂、腐蚀性刻蚀气体)如何变化,都能提供准确、可重复的读数。该产品专为 24/7 晶圆厂运行设计,是半导体、显示、光伏(PV)及工业真空工艺的主压力传感器。
关键规格:
- MKS Baratron® 电容式压力计,气体无关真空计
- 真实绝对压力测量,±0.08–0.5% 精度
- 量程:0.02–20,000 Torr;加热(45–100°C)选项
- 输出:0–10 VDC 模拟信号;EtherCAT/DeviceNet 数字信号
- 全焊接 Inconel 结构,内置 getter 泵以实现长期稳定性
- 紧凑、气密封装;高过压耐受能力
- 常见 PN:722B11TGA2FA, DA01B12TCES24A, 626A01TBE
- 全新 / 翻新 / 测试库存,带保修
应用:
- 半导体:刻蚀、PECVD、ALD、溅射、离子注入
- 显示与光伏:TFT-LCD、OLED、薄膜沉积
- 真空镀膜:PVD、CVD、金属化
- 工业真空:检漏、冷冻干燥、灭菌
- 科研:UHV(超高真空)系统、表面科学、等离子体物理
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品,包含 1 年保修。
A:付款条款是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客户服务了解时间安排。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接。全流程由我方团队跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮防震。