描述:
MKS Baratron®(电容式压力计)是行业公认的气体无关、用于真空系统的真实压力测量黄金标准。不同于会随气体类型变化的 Pirani 或热式规,Baratron 传感器通过精密膜片将压力作为单位面积上的力进行测量,无论工艺气体(N₂、Ar、O₂、腐蚀性刻蚀气体)如何,都能提供准确、可重复的读数。该产品专为 24/7 晶圆厂运行设计,作为半导体、显示、光伏及工业真空工艺的主压力传感器。
关键规格:
- MKS Baratron® 电容式压力计,气体无关真空规
- 真实绝对压力测量,±0.08–0.5% 精度
- 量程:0.02–20,000 Torr;加热(45–100°C)选项
- 输出:0–10 VDC 模拟;EtherCAT/DeviceNet 数字
- 全焊接 Inconel,内置吸气泵以实现长期稳定性
- 紧凑、气密密封;高过压耐受能力
- 常见 PN: 722B11TGA2FA, DA01B12TCES24A, 626A01TBE
- 全新 / 翻新 / 已测试库存,带保修
应用:
- 半导体:刻蚀、PECVD、ALD、溅射、离子注入
- 显示与光伏:TFT-LCD、OLED、薄膜沉积
- 真空镀膜:PVD、CVD、金属化
- 工业真空:检漏、冷冻干燥、灭菌
- 科研:超高真空(UHV)系统、表面科学、等离子体物理
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含 1 年保修。
Q2:付款条款是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服确认交期。
Q4:运输与追踪
A:可选 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接。由我方团队进行全流程跟踪。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。