描述:
MKS Baratron®(电容式压力计)是行业公认的气体无关型真空系统真实压力测量的黄金标准。与会随气体类型变化的Pirani或热导规不同,Baratron传感器通过精密隔膜以单位面积受力的方式测量压力,无论工艺气体(N₂、Ar、O₂、腐蚀性刻蚀气体)如何变化,都能提供准确、可重复的读数。该产品专为24/7晶圆厂运行设计,是半导体、显示、光伏及工业真空工艺的主压力传感器。
关键规格:
- MKS Baratron® 电容式压力计,气体无关真空规
- 真实绝对压力测量,±0.08–0.5% 精度
- 量程:0.02–20,000 Torr;加热(45–100°C)选项
- 输出:0–10 VDC 模拟;EtherCAT/DeviceNet 数字
- 全焊接 Inconel,内置吸气剂泵以实现长期稳定性
- 紧凑型,密封结构;高过压耐受能力
- 常见 PN: 722B11TGA2FA, DA01B12TCES24A, 626A01TBE
- 全新 / 翻新 / 已测试库存,带保修
应用:
- 半导体:刻蚀、PECVD、ALD、溅射、离子注入
- 显示与光伏:TFT-LCD、OLED、薄膜沉积
- 真空镀膜:PVD、CVD、金属化
- 工业真空:检漏、冷冻干燥、灭菌
- 科研:UHV系统、表面科学、等离子体物理
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款条件是什么?
A:T/T,Paypal 支持。
Q3: 产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需要向制造商订购——请联系客服获取时间表。
Q4:运输与跟踪
A:DHL/FedEx/UPS 可选。发货后提供运单号 + 链接。由我们的团队进行全流程跟踪。
Q5:包装与安全
A:原厂品牌包装,强化防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮与抗冲击。