描述:
MKS 隔膜阀是一种精密设计的隔离与节流控制阀,专为高纯气体、真空及关键流体工艺行业开发,源自 MKS 在半导体、真空镀膜、生物技术及精细化工领域数十年的精密流体控制技术。采用核心隔膜隔离结构,柔性隔膜将工艺介质与执行机构及内部运动部件完全隔离,实现零外部泄漏、超洁净流道以及精确的开关与比例流量调节,广泛与 MKS 质量流量控制器、压力传感器及过程控制系统配套,提供完整工业流体解决方案。
关键规格:
- 隔膜隔离设计消除了外部泄漏风险;内部流道光滑且无死角,避免颗粒积聚,符合超高纯气体与卫生级生产标准,是洁净室与半导体晶圆制造的理想选择。
- 可选隔膜材料:Kalrez、Viton、Buna-N、EPDM、PTFE,兼容惰性气体、腐蚀性化学气体、高纯液体、溶剂及低黏度浆料;工作温度范围为 -10℃ 至 150℃,适用于高温工艺型号。
- 与原装 MKS 控制驱动器及流量传感器配合使用,可实现高精度闭环流量/压力调节;可调流量范围覆盖 0.1 sccm~50000 sccm,在低流量控制稳定性方面表现出色,最小可控流量低至满量程的 0.1%。
- 提供手动、电磁电动及气动驱动(常开/常闭)型号;端部连接包括 VCR、KF 法兰、NPT 螺纹、ISO 标准法兰,以适配全球主流管道规格。
- 可快速更换隔膜,无需完全拆卸阀门;一体化紧凑结构降低备件成本与设备停机时间,并具备高循环疲劳强度,适用于频繁切换工况。
- 出厂前经过严格检漏测试,适用于镀膜、蒸发及薄膜沉积设备中的高/超高真空管路隔离。
Q1:产品状况与保修如何?
A:全新正品。包含 1 年质保。
Q2:付款方式有哪些?
A:支持 T/T、PayPal。
Q3:产品交货时间?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服获取具体周期。
Q4:运输与物流追踪
A:可选择 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接,全程可追踪。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。具备防潮与抗冲击能力。