描述:
MKS 膜片阀是精密设计的隔离与节流控制阀,专为高纯气体、真空及关键流体工艺行业开发,源自 MKS 在半导体、真空涂层、生物技术及精细化工领域数十年的精密流体控制技术。采用核心膜片隔离结构,柔性膜片将工艺介质完全与执行器及内部运动部件隔离,实现零外漏、超洁净流道以及精确的开/关与比例流量调节,可与 MKS 质量流量控制器、压力传感器及工艺控制系统广泛匹配,提供完整工业流体解决方案。
主要规格:
- 膜片隔离设计消除了外部泄漏风险;光滑、无死区的内部流道避免颗粒积累,满足超高纯气体及卫生生产标准,理想用于洁净室及半导体晶圆制造。
- 可选膜片材料:Kalrez、Viton、Buna-N、EPDM、PTFE,兼容惰性气体、腐蚀性化学气体、高纯液体、溶剂及低粘度浆料;高温工艺型号适应工作温度从 -10℃ 到 150℃。
- 配合原装 MKS 控制驱动器和流量传感器,可实现高精度闭环流量/压力调节;可调流量范围覆盖 0.1 sccm~50000 sccm,低流量控制稳定性优异,最小可控流量低至满量程的 0.1%。
- 提供手动、电磁、电动气动执行(常开/常闭);端口连接包括 VCR、KF 法兰、NPT 螺纹、ISO 标准法兰,适配全球主流管道规格。
- 膜片可快速更换,无需拆卸整阀;紧凑一体化结构降低备件成本和设备停机时间,频繁开关工况下具有高循环耐疲劳性。
- 出厂前严格进行泄漏测试,适用于涂层、蒸发及薄膜沉积设备的高/超高真空管道隔离。
问1:产品状况和保修如何?
答:全新正品,包含一年保修。
问2:付款条件是什么?
答:支持 T/T、Paypal。
问3:产品交货时间?库存充足吗?
答:标准型号有现货,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需厂家订购——请联系客户服务了解时间。
问4:运输及跟踪
答:可使用 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接,由我方团队全程监控。
问5:包装与安全
答:原厂品牌包装并加固保护(泡沫、密封纸箱、精密齿轮木箱)。防潮、防冲击。