描述:
MKS 隔膜阀是一种精密设计的隔离与节流控制阀,专为高纯气体、真空及关键流体工艺行业开发,源自 MKS 数十年来在半导体、真空镀膜、生物技术及精细化工领域的精密流体控制技术。采用核心隔膜隔离结构,柔性隔膜将工艺介质与执行机构及内部运动部件完全隔离,实现零外部泄漏、超洁净流道以及精确的开关与比例流量调节,广泛配合 MKS 质量流量控制器、压力传感器及过程控制系统,提供完整工业流体解决方案。
主要规格:
- 隔膜隔离设计消除了外部泄漏风险;内部流道光滑且无死区,避免颗粒积聚,满足超高纯气体与卫生级生产标准,适用于洁净室与半导体晶圆制造。
- 可选隔膜材料:Kalrez、Viton、Buna-N、EPDM、PTFE,兼容惰性气体、腐蚀性化学气体、高纯液体、溶剂及低粘度浆料;工作温度范围可从 -10℃ 至 150℃,适用于高温工艺型号。
- 当与原装 MKS 控制驱动器及流量传感器配合使用时,可实现高精度闭环流量/压力调节;可调流量范围覆盖 0.1sccm~50000sccm,具有优异的低流量控制稳定性,最小可控流量可达满量程的 0.1%。
- 可提供手动、电磁电动、气动执行(常开/常闭)三种驱动方式;端部连接包括 VCR、KF 法兰、NPT 螺纹、ISO 标准法兰,以适配全球主流管路规格。
- 隔膜可快速更换,无需完全拆解阀体;紧凑的一体化结构降低备件成本及设备停机时间,在频繁切换工况下仍具备高循环疲劳寿命。
- 出厂前经过严格检漏测试,适用于镀膜、蒸发及薄膜沉积设备中的高/超高真空管路隔离。
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持电汇(T/T)、Paypal。
Q3:产品交货时间如何?是否有足够库存?
A:标准型号有现货,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购,请联系客户服务确认时间。
Q4:运输与追踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪号码及链接,全流程由团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备木箱)。具备防潮与抗冲击保护。