描述:
MKS RF Matchers(也称为RF匹配盒/匹配网络)是为半导体和工业等离子体系统设计的高性能自动阻抗匹配设备。它们可动态地将RF发生器的50Ω输出阻抗与等离子体腔体、刻蚀设备、PECVD以及溅射设备的可变阻抗相匹配,从而最大限度降低反射功率并提升功率传输效率。该产品具备快速调谐、坚固屏蔽以及紧凑的机架式设计,确保等离子体稳定点火、工艺一致性以及7×24小时生产可靠性。提供全新、翻新及经过全面测试的二手状态。
关键规格:
- 自动阻抗匹配:实时调谐,将50Ω发生器输出与可变等离子体负载阻抗匹配;最大限度降低反射功率(通常
- 快速调谐速度:高速响应(多数型号
- 宽频率与功率覆盖:支持13.56MHz(标准)、27.12MHz、40.68MHz;功率范围300W至10kW
- 坚固结构:重型金属外壳,具备EMI/RFI屏蔽;标准风冷(高功率型号可选水冷)
- 精密元件:高品质可变电容、电感及步进电机,具备长寿命(1,000,000+ 次循环)
应用领域:
- 半导体制造:RIE/ICP刻蚀、PECVD/LPCVD沉积、等离子灰化、晶圆清洗、Load Lock系统
- 真空镀膜:溅射、蒸发、用于光学、显示器及太阳能电池的PVD/CVD薄膜沉积
- 工业等离子处理:金属、塑料及陶瓷的表面活化、清洗、刻蚀与涂层处理
- 研发:大学实验室、研究机构及需要稳定RF等离子体供给的中试生产线
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款条件是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品交货时间如何?是否有充足库存?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服确认时间安排。
Q4:运输与物流追踪
A:支持DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号及链接。由我们的团队进行全流程跟踪。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮与抗冲击。