描述:
MKS RF 匹配器(也称为 RF 匹配箱/网络)是用于半导体和工业等离子体系统的高性能自动阻抗匹配设备。它们可动态将 RF 发生器的 50Ω 输出阻抗与等离子体腔体、刻蚀机、PECVD 和溅射设备的可变阻抗相匹配,从而最小化反射功率并最大化功率传输效率。该设备具有快速调谐、坚固屏蔽以及紧凑的机架式设计,确保等离子体稳定点火、工艺性能一致性以及 24/7 生产可靠性。提供全新、翻新以及经过全面测试的二手状态。
关键规格:
- 自动阻抗匹配:实时调谐,将 50Ω 发生器输出与可变等离子体负载阻抗匹配;最小化反射功率(通常
- 快速调谐速度:高响应速度(大多数型号
- 宽频率与功率覆盖:支持 13.56MHz(标准)、27.12MHz、40.68MHz;功率范围从 300W 到 10kW
- 坚固结构:重型金属外壳,具备 EMI/RFI 屏蔽;标准风冷(高功率型号可选水冷)
- 精密组件:高品质可变电容、电感和步进电机,具备长寿命(1,000,000+ 次循环)
应用领域:
- 半导体制造:RIE/ICP 刻蚀、PECVD/LPCVD 沉积、等离子灰化、晶圆清洗、装载锁系统
- 真空镀膜:溅射、蒸发、用于光学、显示器和太阳能电池的 PVD/CVD 薄膜沉积
- 工业等离子处理:金属、塑料和陶瓷的表面活化、清洗、刻蚀和涂层
- 研发:大学实验室、科研机构以及需要稳定 RF 等离子体供给的中试生产线
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品,包含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3: 产品交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间表。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号和链接,全流程由我们团队监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备采用木箱),防潮防冲击。