描述:
MKS RF 匹配器(也称为 RF 匹配盒/网络)是为半导体和工业等离子体系统设计的高性能自动阻抗匹配设备。它们可动态将 RF 发生器的 50Ω 输出阻抗与等离子体腔体、刻蚀机、PECVD 和溅射设备的可变阻抗相匹配,从而最小化反射功率并最大化功率传输效率。具备快速调谐、坚固屏蔽和紧凑机架式设计,确保稳定的等离子点火、一致的工艺性能以及 24/7 生产可靠性。提供全新、翻新及经过全面测试的二手状态。
关键规格:
- 自动阻抗匹配:实时调谐,将 50Ω 发生器输出与可变等离子负载阻抗匹配;最小化反射功率(通常
- 快速调谐速度:高速响应(大多数型号
- 宽频率与功率范围:支持 13.56MHz(标准)、27.12MHz、40.68MHz;功率范围 300W 至 10kW
- 坚固结构:重型金属外壳,具备 EMI/RFI 屏蔽;标准风冷(高功率型号可选水冷)
- 精密组件:高品质可变电容、电感及步进电机,具备长寿命(1,000,000+ 次循环)
应用:
- 半导体制造:RIE/ICP 刻蚀、PECVD/LPCVD 沉积、等离子灰化、晶圆清洗、load lock 系统
- 真空镀膜:溅射、蒸发、用于光学、显示器和太阳能电池的 PVD/CVD 薄膜沉积
- 工业等离子处理:用于金属、塑料和陶瓷的表面活化、清洗、刻蚀和涂层
- 研发:大学实验室、研究机构以及需要稳定 RF 等离子体供应的中试生产线
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号 + 链接。由我们团队进行全流程跟踪。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。防潮与抗冲击。