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全新 MKS MW-5502-01 射频匹配器

全新 MKS MW-5502-01 射频匹配器

全新 MKS MW-5502-01 射频匹配器

高精度，稳定性能

适用于工业自动化

现货 & 全球快速发货

  • 货号:

    MW-5502-01

  • 订单(最小起订量):

    1

  • 支付:

    100% T/T

  • 产品产地:

    USA

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

  • 交货时间：

    2-3 days
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  • 产品详情

描述：

MKS RF匹配器（也称为RF匹配盒/网络）是为半导体和工业等离子系统设计的高性能自动阻抗匹配设备。它们可将RF发生器的50Ω输出阻抗与等离子腔、刻蚀机、PECVD和溅射设备的可变阻抗动态匹配，从而最小化反射功率并最大化功率传输效率。具备快速调谐、坚固屏蔽以及紧凑的机架式设计，确保等离子体稳定点火、稳定的工艺性能以及7×24小时生产可靠性。提供全新、翻新及经过全面测试的二手状态。
 
 
 
关键规格：
  1. 自动阻抗匹配：实时调谐，将50Ω发生器输出与可变等离子负载阻抗匹配；最小化反射功率（通常
  2. 快速调谐速度：高速响应（大多数型号
  3. 宽频率与功率覆盖：支持13.56MHz（标准）、27.12MHz、40.68MHz；功率范围300W至10kW
  4. 坚固结构：重型金属外壳，具备EMI/RFI屏蔽；标准风冷（高功率型号可选水冷）
  5. 精密元件：高品质可变电容、电感及步进电机，具备长寿命（100万+循环）
 
 
 

应用：

  1. 半导体制造：RIE/ICP刻蚀、PECVD/LPCVD沉积、等离子灰化、晶圆清洗、load lock系统
  2. 真空镀膜：用于光学、显示器和太阳能电池的溅射、蒸发、PVD/CVD薄膜沉积
  3. 工业等离子处理：用于金属、塑料和陶瓷的表面活化、清洗、刻蚀和涂层
  4. 研发：大学实验室、研究机构以及需要稳定RF等离子输送的中试生产线

 

 

常见问题：

Q1：产品状况和保修如何？
A：全新正品，含1年保修。

Q2：付款条款是什么？
A：支持T/T、Paypal。

Q3：产品的交货时间是多久？是否有充足库存？
A：标准型号有库存，付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客户服务获取时间表。

Q4：运输与物流追踪
A：提供DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号和链接。全流程由我方团队监控。

Q5：包装与安全

 

A：原厂包装并加强防护（泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱）。防潮防冲击。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components RF Matchers
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