描述:
MKS RF 匹配器(也称为 RF 匹配盒/网络)是为半导体和工业等离子体系统设计的高性能自动阻抗匹配设备。它们动态地将 RF 发生器的 50Ω 输出阻抗与等离子体腔室、刻蚀机、PECVD 和溅射设备的可变阻抗相匹配,最大限度地减少反射功率并最大化功率传输效率。具有快速调谐、坚固屏蔽和紧凑的机架式设计,可确保稳定的等离子点火、一致的工艺性能以及 24/7 生产可靠性。提供全新、翻新和经过全面测试的二手状态。
关键规格:
- 自动阻抗匹配:实时调谐,将 50Ω 发生器输出与可变等离子负载阻抗匹配;将反射功率降至最低(通常
- 快速调谐速度:高速响应(大多数型号
- 宽频率与功率覆盖:支持 13.56MHz(标准)、27.12MHz、40.68MHz;功率范围从 300W 到 10kW
- 坚固结构:重型金属外壳,具备 EMI/RFI 屏蔽;标准风冷(高功率型号可选水冷)
- 精密组件:高品质可变电容、电感和步进电机,具备长寿命(1,000,000+ 次循环)
应用:
- 半导体制造:RIE/ICP 刻蚀、PECVD/LPCVD 沉积、等离子灰化、晶圆清洗、load lock 系统
- 真空镀膜:溅射、蒸发、用于光学、显示器和太阳能电池的 PVD/CVD 薄膜沉积
- 工业等离子处理:金属、塑料和陶瓷的表面活化、清洗、刻蚀和涂层
- 研发:需要稳定 RF 等离子体供给的大学实验室、研究机构和中试生产线
常见问题:
问题1:产品状况和保修情况如何?
答:全新正品,包含 1 年保修。
问题2:付款条件是什么?
答:支持 T/T、PayPal。
问题3:产品交付时间是多久?库存是否充足?
答:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服确认时间。
问题4:运输与追踪
答:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接,全流程由我方团队监控。
问题5:包装与安全
答:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。