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全新 MKS MWJ-1213 射频匹配器

全新 MKS MWJ-1213 射频匹配器

全新 MKS MWJ-1213 射频匹配器

高精度、稳定性能

适用于工业自动化

现货 & 全球快速配送

  • 货号:

    MWJ-1213
  • 订单(最小起订量):

    1
  • 支付:

    100% T/T
  • 产品产地:

    USA
  • 颜色:

    As Model
  • 装运港口:

    Xiamen
  • 交货时间:

    2-3 days
  • 产品详情

描述:

MKS RF 匹配器(也称为 RF 匹配盒/网络)是为半导体和工业等离子体系统设计的高性能自动阻抗匹配设备。它们动态地将 RF 发生器的 50Ω 输出阻抗与等离子体腔室、刻蚀机、PECVD 和溅射设备的可变阻抗相匹配,最大限度地减少反射功率并最大化功率传输效率。具有快速调谐、坚固屏蔽和紧凑的机架式设计,可确保稳定的等离子点火、一致的工艺性能以及 24/7 生产可靠性。提供全新、翻新和经过全面测试的二手状态。
 
 
 
关键规格:
  1. 自动阻抗匹配:实时调谐,将 50Ω 发生器输出与可变等离子负载阻抗匹配;将反射功率降至最低(通常
  2. 快速调谐速度:高速响应(大多数型号
  3. 宽频率与功率覆盖:支持 13.56MHz(标准)、27.12MHz、40.68MHz;功率范围从 300W 到 10kW
  4. 坚固结构:重型金属外壳,具备 EMI/RFI 屏蔽;标准风冷(高功率型号可选水冷)
  5. 精密组件:高品质可变电容、电感和步进电机,具备长寿命(1,000,000+ 次循环)
 
 
 

应用:

  1. 半导体制造:RIE/ICP 刻蚀、PECVD/LPCVD 沉积、等离子灰化、晶圆清洗、load lock 系统
  2. 真空镀膜:溅射、蒸发、用于光学、显示器和太阳能电池的 PVD/CVD 薄膜沉积
  3. 工业等离子处理:金属、塑料和陶瓷的表面活化、清洗、刻蚀和涂层
  4. 研发:需要稳定 RF 等离子体供给的大学实验室、研究机构和中试生产线

 

 

常见问题:

问题1:产品状况和保修情况如何?
答:全新正品,包含 1 年保修。

问题2:付款条件是什么?
答:支持 T/T、PayPal。

问题3:产品交付时间是多久?库存是否充足?
答:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向制造商订购——请联系客服确认时间。

问题4:运输与追踪
答:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接,全流程由我方团队监控。

问题5:包装与安全

 

答:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮、防冲击。

 

 

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