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全新 MKS MW-2513 RF 匹配器

全新 MKS MW-2513 RF 匹配器

全新 MKS MW-2513 RF 匹配器

高精度、稳定性能

适用于工业自动化

现货供应 & 全球快速配送

  • 货号:

    MW-2513

  • 订单(最小起订量):

    1

  • 支付:

    100% T/T

  • 产品产地:

    USA

  • 颜色:

    As Model

  • 装运港口:

    Xiamen

  • 交货时间：

    2-3 days
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  • 产品详情

描述：

MKS RF 匹配器（也称为 RF 匹配盒/网络）是一种用于半导体和工业等离子体系统的高性能自动阻抗匹配设备。它们能够动态地将 RF 发生器的 50Ω 输出阻抗与等离子体腔体、刻蚀机、PECVD 以及溅射设备的可变阻抗相匹配，从而最小化反射功率并最大化功率传输效率。该产品具备快速调谐、坚固屏蔽以及紧凑型机架安装设计，确保等离子体稳定点火、工艺性能一致以及 24/7 生产可靠性。提供全新、翻新以及经过全面测试的二手状态。
 
 
 
关键规格：
  1. 自动阻抗匹配：实时调谐，将 50Ω 发生器输出与可变等离子体负载阻抗匹配；最小化反射功率（通常
  2. 快速调谐速度：高速响应（大多数型号
  3. 宽频率与功率覆盖：支持 13.56MHz（标准）、27.12MHz、40.68MHz；功率范围从 300W 到 10kW
  4. 坚固结构：重型金属外壳，具备 EMI/RFI 屏蔽；标准风冷（高功率型号可选水冷）
  5. 精密组件：高品质可变电容、电感和步进电机，具备长寿命（100 万次以上循环）
 
 
 

应用领域：

  1. 半导体制造：RIE/ICP 刻蚀、PECVD/LPCVD 沉积、等离子灰化、晶圆清洗、装载锁系统
  2. 真空镀膜：溅射、蒸发、用于光学、显示和太阳能电池的 PVD/CVD 薄膜沉积
  3. 工业等离子处理：用于金属、塑料和陶瓷的表面活化、清洗、刻蚀和涂层处理
  4. 研发：大学实验室、科研机构以及需要稳定 RF 等离子体供给的中试生产线

 

 

常见问题：

Q1: 产品状况和保修情况如何？
A：全新原装正品，包含 1 年保修。

Q2: 付款方式是什么？
A：支持电汇（T/T）、PayPal。

Q3: 产品交货时间是多久？库存是否充足？
A：标准型号有库存，付款后 3–5 个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服了解具体时间。

Q4: 运输与物流追踪
A：提供 DHL/FedEx/UPS 运输方式。发货后提供运单号和链接，全程由我方团队监控。

Q5: 包装与安全

 

A：原厂包装并加强防护（泡沫、密封纸箱，精密设备使用木箱）。具备防潮与抗冲击能力。

 

 

相关标签 : Industrial equipment Automation components RF Matchers
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