描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。它们按照半导体级工业标准打造,提供实时精密控制、超稳定运行以及在 24/7 洁净室环境中的无缝系统集成。采用加固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进热设计,确保零数据丢失、稳定的工艺重复性以及先进制程(2nm/3nm)晶圆制造中的最小非计划停机时间。作为真正的 LAM Research 原厂部件,它们保证完美兼容、即插即用的便捷替换,以及用于晶圆厂维护、升级和备件需求的长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业PC,与 LAM 刻蚀机、沉积系统和晶圆加工设备 100% 兼容;已在工厂校准并测试。
- 专为洁净室/24/7运行加固设计;ECC内存、冗余电源、先进热管理;±0.05%工艺控制精度。
- 用于复杂工艺算法的高性能CPU;高速I/O、双以太网,以及符合 SEMI 标准的协议,实现与 MES/设备的无缝集成。
- -20°C 至 +60°C,防尘、防振;适用于等离子、真空和高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换减少停机时间;是晶圆厂、OEM 和半导体服务商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子处理系统
常见问题:
Q1:产品状态和保修情况如何?
A:全新正品,包含1年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间。
Q4:运输与物流追踪
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供运单号+链接,全流程由我方跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:原厂包装并加强防护(泡棉、密封纸箱、精密设备使用木箱)。防潮防震。