描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子刻蚀、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。按照半导体级工业标准打造,可在 24/7 无尘室环境中实现实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。采用加固型硬件、ECC 内存、冗余电源以及先进热设计,确保零数据丢失、稳定的工艺重复性,并将先进制程节点(2nm/3nm)晶圆制造中的非计划停机降至最低。作为正品 LAM Research 零部件,它们保证完美兼容性、即插即用式轻松替换,以及在晶圆厂维护、升级和备件需求中的长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业 PC,与 LAM 刻蚀设备、沉积系统和晶圆加工工具 100% 兼容;出厂校准并经过测试。
- 专为无尘室/24/7 运行强化设计;ECC 内存、冗余电源、先进热管理;工艺控制精度 ±0.05%。
- 用于复杂工艺算法的高性能 CPU;高速 I/O、双以太网,以及符合 SEMI 标准的协议,实现 MES/设备无缝集成。
- 宽温(-20°C 至 +60°C),防尘、抗振;非常适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM 及半导体服务提供商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子刻蚀系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、剥离及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体生产线及真空/等离子加工系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修情况如何?
A:全新正品,含 1 年保修。
Q2:付款方式是什么?
A:支持 T/T、Paypal。
Q3:产品的交货时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后 3–5 个工作日发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服确认时间。
A:支持 DHL/FedEx/UPS。发货后提供追踪单号+链接,全流程由团队监控。
Q4:运输与物流追踪
A:原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱、用于精密设备的木箱)。防潮防震。
Q5:包装与安全