描述:
LAM Research 工业计算机和控制器是用于半导体制造设备的原装高性能 OEM 控制单元,作为等离子蚀刻、CVD/PVD 沉积以及晶圆加工系统的“大脑”。它们按照半导体级工业标准制造,在 24/7 无尘室环境中提供实时精密控制、超稳定运行以及无缝系统集成。采用加固硬件、ECC 内存、冗余电源和先进热设计,确保在先进制程(2nm/3nm)晶圆制造中实现零数据丢失、稳定的工艺重复性以及最小非计划停机时间。作为真正的 LAM Research 原厂部件,它们保证完美兼容性、即插即用替换便利性,以及用于晶圆厂维护、升级和备件需求的长期可靠性。
关键规格:
- 原装控制器/工业PC,与 LAM 蚀刻设备、沉积系统及晶圆加工工具 100% 兼容;出厂校准并经过测试。
- 为无尘室/7×24 小时运行强化设计;ECC 内存、冗余电源、先进热管理;±0.05% 工艺控制精度。
- 高性能 CPU 支持复杂工艺算法;高速 I/O、双以太网以及符合 SEMI 标准协议,实现与 MES/设备的无缝集成。
- 扩展温度范围(-20°C 至 +60°C),防尘、防振;非常适用于等离子、真空及高纯工艺区域。
- 模块化即插即用设计;直接替换可减少停机时间;是晶圆厂、OEM 和半导体服务提供商的关键备件。
典型应用:
- LAM Research 等离子蚀刻系统(Kiyo 系列等)
- CVD/PVD/ALD 薄膜沉积设备
- 晶圆清洗、去胶及工艺模块
- 2nm/3nm 先进制程逻辑与存储晶圆厂
- 半导体制造产线及真空/等离子加工系统
常见问题:
Q1:产品状况和保修如何?
A:全新正品。包含1年保修。
Q2:付款条件是什么?
A:支持T/T、Paypal。
Q3:产品的交付时间是多久?库存是否充足?
A:标准型号有库存,付款后3–5个工作日内发货。稀缺型号需向厂家订购——请联系客服获取具体时间。
Q4:发货与物流追踪
A:提供 DHL/FedEx/UPS 运输服务。发货后提供运单号与查询链接。全流程由我方团队跟踪监控。
Q5:包装与安全
A:采用原厂包装并加强防护(泡沫、密封纸箱,精密设备使用木箱)。具备防潮与抗冲击保护。